Каталог оборудования


3D профилометр интерферометр OV-SPI500

K-MAC 3D профилометр OV-SPI 500, обеспечивает бесконтактный и неразрушающий благодаря измерения использованию метода измерения интерферометрии и сканированию белого света. 3D профилометр интерферометр OV-SPI500 Благодаря установке ПЗС-камеры, возможно проведение измерений и получение результатов в режиме реального времени, результаты отображаются с 3D отображение данных через перпендикулярное разрешение блока нано модуля. Возможность одновременного измерения толщины, показателя преломления и критических размеров, является отличительной особенностью OV-SPI 500, что расширяет его возможности, обеспечивая широкий спектр применения. Скачать брошюру

Особенности

Метод измерения Сканирующая интерферометрия белого света
Особенности Оптическая метрология с помощью спектроскопической рефлектометрии
Одновременное определение толщины, индекса отражения и измерений критических размеров
Бесконтактный и неразрушающий
2D и 3D отображение данных
LED светодиодное адаптированное освещение
Sub-нанометровое разрешение по вертикали


Спецификации

Диапазон сканирования 100 мкм (расширенный 300 мкм)
Скорость сканирования < 10 мкм/сек (без движения)
Размер пятна 20 мкм
Вертикальное разрешение 0.1 нм
Разрешающая способность в поперечном направлении 0.2 мкм при 50X линзах
Поле зрения 940 X 710 мкм (5X линзы)
Диаметр полупроводниковой пластины 4” ~ 12”
3D CCD 8 bit
Линзы (объективы) 10X, 20X, 50X (Tube Lens 0.5X, 1X, 1.5X)
Яндекс.Метрика