Растровый электронный микроскоп IM-150 - это SEM микроскоп, которая позволяет получать изображения высокого разрешения с максимальным увеличением до 150,000х. Эта модель, оснащенная передовыми технологиями, подходит для наблюдения за формами мелких наночастиц. Используется пять автоматических транспортных осей для быстрого определения местоположения анализа и получения изображений с высоким разрешением, которые эквивалентны изображениям обычного SEM.
Спецификация
IM-150 SERIES | ||||
---|---|---|---|---|
Модель | IM-150-SM | IM-150-DM | IM-150-SA | IM-150-DA |
Ⅰ. Характеристики | ||||
1 Детектор | SE | SE+BSE | SE | SE+BSE |
2 Платформа | X,Y(40мм), R(360˚) 3-осевая ручная |
X,Y(40мм), R(360˚) 3-осевая ручная |
X,Y(40мм), R(360˚), Z (0~40мм), Tilt(0~60˚) 5-осевая моторизованная |
X,Y(40мм), R(360˚), Z (0~40мм), Tilt(0~60˚) 5-осевая моторизованная |
3 Разрешение | 5 нм | |||
4 Ускоряющее напряжение | 1~30 кВ | |||
5 Увеличение | 20x~150,000x | |||
6 Макс размер образца | 80(D) x 40(H) мм | |||
Ⅱ. Электронная оптика | ||||
1 Электронная пушка | Вольфрамовая (W) нить накала | |||
2 Апертура (O.L) | Переменного типа (30/50/50/100 мкм) | |||
3 Сдвиг пучка | X.Y 100 мкм (±50) | |||
Ⅲ. Система изображений | ||||
1 Дисплей | 22 дюйм LCD | |||
2 Формат | BMP,JPEG,PNG,TIFF | |||
3 OS | Windows10 | |||
4 Режим сканирования | 320×240,640×480,1280×960,2560×1280,5120×3840 | |||
5 Автоматизация | Автофокус, контрастность и яркость, стигматор, выравнивание пистолета (с помощью катушки выравнивания) | |||
Ⅴ. Вакуум | ||||
1 Режим вакуума | Высокий вакуум | |||
2 Насос | Начальный вакуум : роторный насос(100л), Высокий вакуум: Турбомолекулярный насос(80л) / Полная автоматизация |
|||
Ⅵ. Размеры | ||||
1 SEM | 480(W)x480(D)x1180мм, 90 кг | |||
2 Роторный насос | 400(W)x160(D)x340(H)мм, 24кг | |||
Ⅶ. Дополнительно | ||||
1 SEM | CCD CAMERA(режим навигации), Джойстик контроллер | |||
2 Опция | Низкий вакуум, EDS, охлаждение платформы, детектор STEM |