Каталог оборудования


Лазерный 3D профилометр SIS-1200 PLUS

 

Описание

Лазерный прифилометр SIS-1200 PLUS был разработана для исследования таких объектов и материалов как LCD, MEMS, тонких полупроводниковых пластин-носителей, поверхностей высокоточной обработки, оптоволоконных материалов и многих других. Прибор использует усовершенствованный метод фазовой сканирующей интерферометрии и гарантирует высокую точность исследований, высокоточный анализ шероховатости поверхностей, и характеризацию параметров поверхности.

Особенности

  • 3D анализ: Трехмерный анализ поверхности, получение статистики отчетов и результатов параметров поверхности.
  • Быстрота исследования: Интерферометр анализирует все поле в видоискателе за несколько секунд. Высокоскоростной цифровой анализ позволяет проводить быстрое исследование.
  • Высокое разрешение: Вертикальное разрешение: 0.1 нм. Настройки пользователя позволяют выбирать требуемое разрешение.
  • Широкий диапазон измерений: Исследования поверхности позволяют анализировать высоту от 1 нм до 200 мкм.
  • Вариативность полей зрения: прибор позволяет выбирать разные увеличения.

Конфигурация

  • Основной модуль (750*750*1573 мм), за исключением контроллера и монитора
    • гранитная основа, база
    • Мост
  • Оптический модуль
    • Illuminator(LED Lamp)
    • Модуль фильтров
    • B/W CCD камера ; 640 X 480
  • Основной контроллер
    • Pentium IV PC
    • Image Grabber
    • Interface Board
    • Main Monitor (17" LCD Color )
  • Высокоскоростная/ Высокого разрешения CCD камера; 640 x 480 активных пикселей
  • Высокоскоростной(до 30мкм/сек)/ высокоэффективный сканнер (ход 150 мкм)
  • Высокоточный PZT сканирующий датчик замкнутого цикла
  • Контроллер оптики и освещенности
    • Драйвер движения по оси Z
    • PZT Модуль усиления (емкостный датчик)
  • Программное обеспечение
    • I Series : программное обеспечение для измерений
    • SNUMap : программное обеспечение для анализа
  •  
  • Платформа для измерений
    • XY : 150 x 100 мм
    • Наклон: ±°
  • Антивибрационный стол (750X750X750)
  • Оптическая башня для объективов на 5 позиций
  • Общий вес: около 300 кг
  • Опциональные аксессуары
  • Объективы
    • 2.5X
    • 5X
    • 10X ( Mirau Type)
    • 20X ( Mirau Type)
    • 50X ( Mirau Type)
  Спецификация
  • Метод измерений:
    • Усовершенствованный метод интерферометрии фазового сдвига
    • Интерферометрия фазового сдвига
  • Возможность проведения измерений :
    • 3D измерения профиля поверхности
    • измерение шероховатости поверхности
    • измерение высоты ступени слоя металлического покрытия
  • Зона обзора, измерений : От 0.181 мм до 3.62 мм: большие площади могут быть измерены, в зависимости от объектива
  • Вертикальное разрешение : 0.1 нм
  • Диапазон измерений : 0.2мкм to 150мкм с высокоточным PZT сканирующим датчиком замкнутого цикла
    Объективы:

 
Увеличение 3D 50X 3D 20X 3D 10X
Рабочее расстояние, мм 3.4 4.7 7.4
Глубина фокуса, мкм ±1.0 ±1.8 ±3.2
Поле зрения, мкм 181 х 136 450 х 340 &900 х 680
&Пространственная выборка, Мкм/пиксел 0.57 1.42 2.83
Наклон 27.65 14.56 7.73
Пространственное разрешение X/Y, мкм, 0.64 0.88 1.18
Линзы могут быть заменены для достижения наилучшей производительности.

 

 

Ход платформы

 

Ось Тип Ход
Z Ручной 50 мм
X, Y Ручной 150 x 100 мм
Наклон Ручной ±3°

 

Программное обеспечение :

- Усовершенствованное обнаружение контура, определении краев. Высокоточные измерения с автофокусной настройкой

- 3D вид & вид сверху сканированных компонент.

- Программируемое позиционирования образцов.

- Экспорт данных профиля/цифровой фильтр/статистический анализ

- Дружественный интерфейс

- Полностью настраиваемый модуль программного обеспечения

- Режим согласования позиции и профиля

- Определение воспроизводимости и стандартного отклонения

- Большое множество параметров анализа поверхности и шероховатости (Ra, Rsk, Rku,..... & Sa, Sq, Ssk, Sku......)

- Функции зума для локального/общего изображения

- PS модуль измерений

 

Яндекс.Метрика