Ручной эллиптический поляриметр использует метод экстинкции для измерения толщины и показателя преломления пленки и вручную регулирует отклонение и угол отклонения в процессе испытания. Эллипсометрия широко используется для измерения тонких диэлектрических пленок на твердой подложке. В методе измерения толщины пленки она может быть измерена с самой тонкой и высокой точностью.
Характеристики
| Описание | Характеристики |
| Диапазон измерения толщины | 1 нм ~ 300 нм |
| Диапазон угла падения | 30º ~ 90º, погрешность ≤ 0,1º |
| Угол пересечения поляризатора и анализатора | 0º ~ 180º |
| Дисковая угловая шкала | 2º по шкале |
| Мин. Чтение Вернье | 0,05º |
| Высота оптического центра | 152 мм |
| Диаметр рабочей сцены | Φ 50 мм |
| Габаритные размеры | 730x230x290 мм |
| Масса | Около 20 кг |
Список запчастей
| Описание | Кол-во |
| Эллипсометр | 1 |
| He-Ne лазер | 1 |
| Фотоэлектрический усилитель | 1 |
| Фотоэлемент | 1 |
| Кремнеземная пленка на кремниевой подложке | 1 |
| Компакт-диск с программным обеспечением для анализа | 1 |
| Инструкция по эксплуатации | 1 |
