Терагерцовый спектрометр (ТГц) – анализатор участка электромагнитного спектра, который находится между микроволновым и дальним ИК-излучением, что соответствует частотному диапазону в диапазоне 0,1-20 ТГц. Благодаря «проникающему» свойству и отсутствию ионизующего эффекта ТГц спектрометрия может использоваться для обнаружения дефектов и выявления изменений плотности в различных материалах. ТГц спектроскопия применяется как в научных задачах по спектроскопии, так и в производстве ТГц для контроля качества выпускаемой продукции и мониторинга оборудования.