IM-60 - это усовершенствованная модель сканирующего микроскопа, которая удовлетворяет различным целям анализа. Детектор SE (вторичных электронов) и детектор BSE (электронов с обратным рассеянием) можно устанавливать избирательно. Базовый этап состоит из трех (ручных) осей: X, Y, R. Вы можете изменить конфигурацию на пятиосный автоматический каскад с помощью дополнительные оси Z и Tilt при необходимости. Вы также можете изменить конфигурацию либо на настольный тип, либо на башенный (несущий) тип в зависимости от назначения и среды установки.
Спецификации
| IM-60 SERIES | ||||
|---|---|---|---|---|
| MODELTYPE | IM-60-SM | IM-60-DM | IM-60-SA | IM-60-DA |
| Ⅰ. Основныне параметры | ||||
| 1 Детектор | SE | SE+BSE | SE | SE+BSE |
| 2 Платформа (Storke) | X,Y(40㎜), R(360˚) 3-осевая ручная |
X,Y(40㎜), R(360˚) 3-осевая ручная |
X,Y(40㎜), R(360˚), Z (0~40㎜), Tilt(0~60˚) 5-осевая моторизованная |
X,Y(40㎜), R(360˚), Z (0~40㎜), Tilt(0~60˚) 5-осевая моторизованная |
| 3 Разрешение | 10 нм | |||
| 4 Ускоряющее напряжение | 5~30 кВ | |||
| 5 Увеличение | 20x~60,000x | |||
| 6 Макс размер образца | 80(D) x 40(H) мм | |||
| Ⅱ. Электронная оптика | ||||
| 1Электронная пушка | Вольфрамовая (W) нить накала | |||
| 2 Апертура(O.L) | Одиночного типа | |||
| 3Сдвиг пучка | X.Y 100 мкм (±50) | |||
| Ⅲ. Система изображений | ||||
| 1 Дисплей | 22 дюйм LCD | |||
| 2Формат | BMP,JPEG,PNG,TIFF | |||
| 3 OS | Windows10 | |||
| 4 Режим сканирования | 320×240,640×480,1280×960,2560×1280,5120×3840 | |||
| 5 Автоматизация | Автофокус, контрастность и яркость, стигматор, выравнивание пистолета (с помощью катушки выравнивания) | |||
| Ⅴ. Вакуум | ||||
| 1 Режим вакуума | Высокий вакуум | |||
| 2 Система насососв | Начальный вакуум: роторный(100 л), Высокий вакуум: турбомолекулярный(80L) / Полная автоматизация |
|||
| Ⅵ. Размеры | ||||
| 1 SEM | 480(W)x480(D)x1180мм, 90кг | |||
| 2 Роторный насос | 400(W)x160(D)x340(H)мм, 24кг | |||
| Ⅶ. Дополнительно | ||||
| 1 SEM | CCD CAMERA(навигационный режим), Джойстик контроллер | |||
| 2 Опция | Низкий вакуум, EDS, Охлаждение платформы, STEM детектор | |||
