Сканирующий электронный микроскоп с автоэмиссионной пушкой KYKY-EM8000F
Введение
Сканирующая электронная микроскопия (СЭМ) - это метод исследования морфологии микроскопа между просвечивающим электронным микроскопом и оптическим микроскопом. Он может напрямую использовать свойства материала поверхности образца для получения микроскопических изображений.
Характеристика
Автоэмиссионная электронная пушка Шоттки, высокая яркость, хорошая монохроматичность, небольшое пятно электронного луча, длительный срок службы
Поддерживает хорошую яркость и высокое разрешение при низких ускоряющих напряжениях
Высокая стабильность луча и малая дисперсия, подходит для долгосрочного точного анализа, такого как BSE, EDS , Непроводящие
образцы с низким ускоряющим напряжением EBSD можно непосредственно наблюдать без необходимости распыления золота
Простота в эксплуатации, все ЭМ-операции можно выполнять с помощью мыши.
Возможна настройка электронных оптических систем, станций отбора проб и т. Д. Разрешение
Технические параметры
Разрешение: 1,5 нм (15 кВ); 5 нм (3 кВ)
Увеличение: 15 ~ 500 000 раз
Напряжение ускорения: 0 ~ 30 кВ
Электронная пушка: автоэмиссионная электронная пушка Шоттки-Шоттки
Функция автоматической регулировки: фокусировка, яркость / контраст, астигматизм, электронно-лучевая пара средняя
Вакуумная система: Детектор вторичных электронов в высоком вакууме ( с функцией защиты датчика детектора от столкновения)
Перемещение образца
X: 0 ~ 80 мм
Y: 0 ~ 60 мм
Z: 0 ~ 50 мм
R: 360 °
T: -5 ° ~ 90 °
Детектор: детектор SE, детектор BSE (опция), рентгеновский спектрометр (опция), EBSD (опция)
Детальное техническое описание
1. Условия работы:
Источник питания:
1.1 230 В (+ / - 6% и 10%) / 50 Гц (+ / - 1%). Требуется источник бесперебойного питания ИБП.
1.2 время работы температура окружающей среды: 17-23 ° C
1.3 время работы: относительная влажность <80% (без конденсации)
1.4 шум: <68 дБ
1.5 Долговечность инструмента может работать непрерывно
2. Применение:
В основном применяется для анализа внешнего вида поверхности образцов. Оборудован энергетическим спектром, который используется для анализа состава, и оснащен небольшим устройством ионного распыления для помощи в обработке поверхности образца.
3. Технические характеристики
1) Разрешение вторичного электронного изображения (SE): 1,5 нм при 15 кВ или 30 кВ
2). Увеличение: 15-500,000 x
3). Ускоряющее напряжение: 0 ~ 30 кВ
4. Электронная пушка: автоэмиссионная пушка Шоттки;
Функция автоматической настройки: фокусировка, яркость / контраст, астигматизм, динамическая фокусировка, электронный луч на носителе.
5. Трубка
Система линз с высокими характеристиками
Апертура линз: они могут регулироваться вне вакуумной камеры, а апертура объектива может быть заменена без снятия оправы объектива.
6. Вакуумная система
2 ионных насоса, 1 турбомолекулярный насос и механический насос; вакуум в камере для образца лучше 6 x 10-4 Па, вакуум в электронной пушке лучше 1 x 10 -6 Па. Полностью автоматический контроль вакуума с функциями блокировки вакуума.
7. Детектор
Детектор вторичных электронов высокого вакуума.
8. Примерный этап
Мобильный: X ≥ 50 мм, Y ≥ 50 мм, Z ≥ 25 мм
Вращение: 360 ° непрерывное
Наклон: - 5 ° ~ 90 °
9. Процессор изображений
Максимум 16384 x 16384 пикселей
Форматы файлов изображений: .TIFF
Автоматическая запись цифрового фильма: функция (avi)
10 Отображение изображения: 19-дюймовый ЖК-монитор
В среднем 256 кадров или интегральные, богатые и подробные уровни изображения, увеличение отображения в реальном времени, масштаб, ускоряющее напряжение, отображение всех видов серых кривых.
11. аксессуары
KYKY EM 8000F имеет шесть предварительно собранных интерфейсов для всех типов электронных детекторов, детектора SE, детектора BES, рентгеновского EDS, EBS и т. Д.
Один комплект расходных материалов и инструментов входит в поставку.
