Техническое описание
1. Условия работы:
Электропитание: 230 В (+ / - 6% и 10%) / 50 Гц (+ / - 1%)
Температура окружающей среды во время работы: 17-23 ° C
Время работы: относительная влажность <80% (без конденсации)
шум: <68 дБ
Долговечность работы прибора: непрерывная работа
2. электронная оптика
Электронная пушка с вольфрамовым катодом: структура вилки открытого типа
Разрешение: 3 нм при 30 кВ
Увеличение: 5x-300.000x (опционально до 1.000.000)
Ускоряющее напряжение: 0 ~ 30 кВ, величина шага 100 В, 10 кВ ~ 30 кВ, шаг 1 кВ.
2.1 Стенд для образца
Стандартный предметный столик: X≥80 мм Y≥60 мм Z≥50 мм T = -5 ° ~ + 90 ° R = 360
Дополнительно: автоматическая платформа (X, Y)
Стандартный размер: D = φ80 мм.
Максимальный размер: D = φ110 мм.
2.2 Вакуумная система
Молекулярный насос и механический насос
2.3 Характеристики сканирования
Режим сканирования: плоскостное, линейно-точечное, районное, двухзондовое сканирование.
Программные функции:
Поворот и движение изображения
Отображение в реальном времени Отображение тока объектива и высокого напряжения
Динамическая фокусировка
Полноэкранный редактор символов и меток
Цифровой дисплей в реальном времени для увеличения и автоматической коррекции рабочего расстояния Цифровой дисплей в реальном времени
3. аксессуары
KYKY EM 6900 имеет шесть предварительно собранных интерфейсов для всех типов электронных детекторов, детектора SE, детектора BES, рентгеновского EDS, EBS и т. Д.
Один комплект расходных материалов и инструментов входит в поставку.
