Монохроматор ELIAS

Производитель: Berlin Lasertechnik Показать товары
Создал: Super User

Коммерческий эшелле монохроматор с самым высоким разрешением в мире

  • F / 50
  • 2,5 млн. -10 млн. (λ / ∆λ FWHM )
  • 157-1100 нм ( максимальный диапазон )
  • 8-400 вечера (λ simul )
  • 190-550 нм ( тип λ )
  • 85-240 фм (FWHM)

Ведущая в мире серия коммерческих эшелельных спектрометров в конфигурации Литроу с самым высоким спектральным разрешением - для высокоразрешающей спектральной характеристики линий излучения и поглощения, в частности для эксимерлазерной литографии.

  • Динамика интенсивности до 4-х заказов
  • Наивысшее спектральное разрешение (2,5–10 миллионов)
  • Очень высокое качество изображения
  • Простое и безошибочное управление
  • Моторизованная оптомеханика

Серия коммерческих спектрометров наивысшего разрешения, для характеристики узкополосных лазеров, изотоповой спектроскопии.

 

  • Высокая динамика спектральной интенсивности разрешением до 4 порядка
  • Высокое качество изображения
  • Промышленное использование

Принцип работы

ELIAS является эшелле спектрометром с чрезвычайно высоким разрешением. Он используется для спектрального измерения линий испускания и поглощения с высокой разрешающей способностью, в частности, лазерных линий. Профили линий могут быть обнаружены одновременно в пределах их спектрального близости с отношением сигнал-шум до 40000 с помощью новейшего CCD детектора. Помимо высокого разрешения спектрального измерения лазерных линий, прибор обладает отличной динамикой интенсивности до 4 порядка. Это делает возможным количественно анализировать крылья и спектральную близость от лазерных спектральных линий, отличную от Фабри-Перо спектрометров.     Основной областью применения ELIAS спектрометра является эксимерлазерная литография. Из-за их хроматических аберраций , преломляющие объективы в установках совмещения и последовательного шагового мультиплицирования на пластину требуют чрезвычайно высокой спектральной чистоты источников излучения. Сильное конкурентное преимущество может быть реализовано лазерным производителем, который может предложить источники излучения с узкой спектральной шириной. Дальнейшие области применения - измерение спектральной и временной стабильности диодных лазеров, твердотельных лазеров и линий излучения ламп .

    Концепция спектрометра

Оптические устройства с использованием Echelle решетки позволяют достичь чрезвычайно высокой способностью теоретического разрешения через дифракции света многочисленных высоких порядков интерференции. Чтобы иметь возможность использовать теоретически разрешающую способность эшелле решетки, оптическая система спектрометра должны отвечать двум требованиям.

  

Во-первых, должен быть достигнут почти предел дифракционной визуализации. Во-вторых, линейная дисперсия должна быть достаточно высокой , чтобы быть в состоянии разрешить полуширину линий с 5-10 пикселей принимая во внимание типичную пиксельную ширину детектора линейного массива . В ELIAS,360 мм в ширину эшелле решетка в дифракционном расположении может быть использована в двойном или одинарном проходе. Это дает возможность, с помощью контролируемого программным обеспечением мотора, работать либо с очень высокой разрешающей способностью к характеристике профиля или с пониженной разрешающей способностью, но в более широком диапазоне наблюдения и высокой чувствительностью. По 2,5 м от оси параболоида и прилагаемых анаморфической увеличивающей оптики с тангенциальным масштабом изображения 4:01 , фокусное расстояние камера достигается 10 м . Система чрезвычайно термически и механически стабильным . Полный автомобилизации позволяеточень простое управление , а также автоматической фокусировки и позиционирование спектра на детекторе . По исключительно применяя отражения оптику с УФ слоев широкополосных , хроматические аберрации избежать и нет никаких ограничений в выборе длины волн измерений. Муфта в спектрометр осуществляется через волоконно связи SMA или опционально через чистых передачи отражение оптики.


Различные конфигурации спектрометров ELIAS

Стандартная версия спектрометра ELIAS I. Оптическая основа всех ELIAS спектрометров идентичена стандартной версии. Управляющее и обрабатывающее результаты программное обеспечение Sophi контролирует все спектрометрические и детекторные функции. Режим сканирования позволяет последовательное измерение большего диапазона длин волн - больше, чем свободный спектральный диапазон одновременно. Дополнительное ПО LabView позволяет осуществлять дистанционное управление ELIAS и интеграцию в сложных тестовых стендах.

  ELIAS II имеет гораздо более высокую спектральную разрешающую способность. Система детекторов с высоким разрешением и включение быстрого затвора позволяют проводить улучшенные измерения с отличным временным разрешением. Лучшее охлаждение системы детектора снижает фоновый шум детектора и, следовательно, значительно улучшает отношение сигнал-шум .

  ELIAS III является усовершенствованнием ELIAS II. Комплексный ретрорефлектор позволяет использовать эшелле решетку четыре раза. Это удваивает спектральное разрешение ELIAS II.

  ELIAS -LD не разрешает полуширину линий с 5 до 10 пикселей , но свободный спектральный диапазон может быть утроен без существенного уменьшения спектральной разрешающей способности.

  Для измерения F2 лазеров ( 157 нм) была разработана вакуумная версия, ELIAS - VUV.

  Для мобильного использования спектрометра была разработана версия ELIAS-Portable, затухание которых даже позволяет использование при «грубых» условиях без ущерба для оптической схемы спектрометра.

Спецификация

                 
    Спецификации ELIAS - Series
 
 

Общие

Детектор
Динамический диапазон
CCD детектор линейный массивELIAS I: 1,024 pixels; ELIAS II/III: 2,048 pixels
16 Bit-AD конверсия, эффективность около 33,000:1
  Соотношение сигнал / шум порядок 40,000 better 10,000 / 40 dB
  Минимальное время экспозиции ELIAS I: 18 мс ELIAS II/III: 2 мс
  Интегрированный механический затвор
  Связь посредством волокон, за исключением ELIAS-VUV (зеркальная оптика)
  Калибровка длин волн посредством встроенной ртутной лампы (253.652 нм)
  Абсолютная точность при калибровке внутренней HG лампой лучше ±5 pm
  Относит. ошибка дисперсии пикселей в зависимости от длины волн, для 193 нм двойной проход 0.2 fm
  Промышленный ПК с Windows
  Программное обеспечение Sophi, LabView опционально
  Размеры ELIAS стандарт (Д x Ш x В) (1,400 x 500 x 1300) мм
 
    Длина волны
(нм)
ELIAS-LD ELIAS I-standard, VUV,
Portable
ELIAS II ELIAS III
 

Проход

 

двойной

одиночный

двойной

одиночный

двойной

четверной

Одновременно

157 49 152 14 45 - -

наблюдение

193 52 170 15 48 16.4 8.4

диапазон (pm)

248 71 227 20 64 22.5 11.5
  266 92 275 25 73 29.7 15
  532 185 551 49 146 59.4 29.9
  766 293 846 82 244 92.5 47.5
  1064 626 - 98 292 200 101

Разешение

157 0.1 0.31 0.083 0.254 - -

самая узкая

193 0.11 0.34 0.086 0.283 0.060 0.022

спектрально

248 0.15 0.46 0.117 0.376 0.082 0.032

разрешимая

266 0.19 0.55 0.147 0.428 0.112 0.042

линия

532 0.37 1.1 0.294 0.856 0.225 0.084

FWHM (pm)

766 0.59 1.7 0.482 1.4 0.339 0.130
  1064 1.25 - 0.588 1.711 0.450 0.165
 
 

МОДЕЛИ

Оптическая конструкция всех Элиас моделей идентична стандартной версии ELIAS I .

ELIAS I : Стандартная версия серии ELIAS.

ELIAS II : модель ELIAS с гораздо более высокой спектральной разрешающей способностью, быстрым затвором и детекторной системой с высоким разрешением с улучшенным охлаждением для улучшенных измерений с временным разрешением и значительно более высоким отношением сигнал / шум.

ELIAS III : Усовершенствованная разработка ELIAS II со встроенным ретрорефлектором, который позволяет использовать решетку Эшеля четыре раза. Это удваивает спектральное разрешение ELIAS II .

ЭЛИАС ЛД : с низкой дисперсией ЭЛИАС модель , которая не решает полуширины линий с 5 до 10 пикселей , но вместо того, чтобы свободный спектральный диапазон может быть в три раза без существенного снижения спектральной разрешающей способности по сравнению с ELIAS I .

WAVEMETER : модель ELIAS I для определения абсолютной длины волны при 193 нм

ELIAS Portable : Портативная модель ELIAS I, разработанная с соответствующим демпфированием, которое позволяет транспортировать в «грубых» условиях, не влияя на оптическое выравнивание спектрометра.

ELIAS VUV : модель ELIAS I в вакууме для анализа лазеров F2 с длиной волны 157 нм .

Модель ELIAS I
ELIAS
VUV ELIAS Портативный
ЭЛИАС II ЭЛИАС III Элиас-LD волномер
Проходить не замужем двойной двойной четверной не замужем двойной  
Длина волны [нм] λ simul [pm] λ simul [pm] λ simul [pm] λ simul [pm] λ simul [pm] λ simul [pm] λ simul [pm]
157 45 14 - - 152 49  
193 48 15 16,4 8,4 170 52 50
248 64 20 22,5 11,5 227 71  
266 73 25 29,7 15 275 92  
532 146 49 59,4 29,9 551 185  
+766 244 82 92,5 47,5 +846 293  
1064 292 98 200 101 - 626  
               
Длина волны [нм] FWHM [вечера] FWHM [вечера] FWHM [вечера] FWHM [вечера] FWHM [вечера] FWHM [вечера] FWHM [вечера]
157 0,254 0,083 - - 0,31 0,10  
193 0,283 0,086 0,060 0,022 0,34 0,11 0,34
248 0,376 0,117 0,082 0,032 0,46 0,15  
266 0,428 0,147 0,112 0,042 0,55 0,19  
532 0,856 0,294 0,225 0,084 1,10 0,37  
+766 1,400 0,482 0,339 0,130 1,70 0,59  
1064 1,711 0,588 0,450 0,165 - 1,25  

 

ХАРАКТЕРИСТИКИ

Оптический дизайн эхельский монохроматор в конфигурации Littrow
апертура F / 50
Абсолютная точность лучше ± 5 вечера при калибровке с помощью внутренней лампы Hg
детектор ПЗС - ELIAS I: 1024 пикселя; ELIAS II / III: 2048 пикселей
Время выдержки, мин ЭЛИАС I: 18 мс; ELIAS II / III: 2 мс
Отношение сигнал / шум (SNR) на уровне 40000; лучше 10 000/40 дБ
Относительный ошибка дисперсии пикселей 0,2 фм для двойного прохода 193 нм (зависит от длины волны)
Динамический диапазон 16-битное преобразование AD, эффективно прибл. 33000: 1
Легкая связь оптоволокно, кроме ELIAS VUV (зеркальная оптика)
Калибровка длины волны со встроенной ртутной лампой (253,652 нм)
компьютер ПК вкл. TFT с Microsoft Windows
Программное обеспечение Софи, библиотека LabVIEW опционально
Размеры без детектора (Д х Ш х В) (1400 х 310 х 250) мм ELIAS I
Вес без детектора 50 кг
Характеристики встроенный механический затвор

 


Примеры спектров







 

Применение

  • Эксимер лазерная литография
  • Измерение спектральной временной стабильности диодных лазеров, твердотельных лазеров и линий излучения ламп
  • Точное определение абсолютной длины волны эмиссионных линий
  • LIBS - лазерно-индуцированная пробойная спектроскопия
Аналитическое оборудование по методу анализа Лазерный элементный

Местоположение

Вложения

Задать вопрос по этому товару