Монохроматор ELIAS

Коммерческий эшелле монохроматор с самым высоким разрешением в мире

• F / 50
• 2,5 млн. -10 млн. (λ / ∆λ FWHM )
• 157-1100 нм ( максимальный диапазон )
• 8-400 вечера (λ simul )
• 190-550 нм ( тип λ )
• 85-240 фм (FWHM)

Ведущая в мире серия коммерческих эшелельных спектрометров в конфигурации Литроу с самым высоким спектральным разрешением - для высокоразрешающей спектральной характеристики линий излучения и поглощения, в частности для эксимерлазерной литографии.

• Динамика интенсивности до 4-х заказов
• Наивысшее спектральное разрешение (2,5–10 миллионов)
• Очень высокое качество изображения
• Простое и безошибочное управление
• Моторизованная оптомеханика

Серия коммерческих спектрометров наивысшего разрешения, для характеристики узкополосных лазеров, изотоповой спектроскопии.

• Высокая динамика спектральной интенсивности разрешением до 4 порядка
• Высокое качество изображения
• Промышленное использование

Принцип работы

ELIAS является эшелле спектрометром с чрезвычайно высоким разрешением. Он используется для спектрального измерения линий испускания и поглощения с высокой разрешающей способностью, в частности, лазерных линий. Профили линий могут быть обнаружены одновременно в пределах их спектрального близости с отношением сигнал-шум до 40000 с помощью новейшего CCD детектора. Помимо высокого разрешения спектрального измерения лазерных линий, прибор обладает отличной динамикой интенсивности до 4 порядка. Это делает возможным количественно анализировать крылья и спектральную близость от лазерных спектральных линий, отличную от Фабри-Перо спектрометров.     Основной областью применения ELIAS спектрометра является эксимерлазерная литография. Из-за их хроматических аберраций , преломляющие объективы в установках совмещения и последовательного шагового мультиплицирования на пластину требуют чрезвычайно высокой спектральной чистоты источников излучения. Сильное конкурентное преимущество может быть реализовано лазерным производителем, который может предложить источники излучения с узкой спектральной шириной. Дальнейшие области применения - измерение спектральной и временной стабильности диодных лазеров, твердотельных лазеров и линий излучения ламп .

    Концепция спектрометра

Оптические устройства с использованием Echelle решетки позволяют достичь чрезвычайно высокой способностью теоретического разрешения через дифракции света многочисленных высоких порядков интерференции. Чтобы иметь возможность использовать теоретически разрешающую способность эшелле решетки, оптическая система спектрометра должны отвечать двум требованиям.

Во-первых, должен быть достигнут почти предел дифракционной визуализации. Во-вторых, линейная дисперсия должна быть достаточно высокой , чтобы быть в состоянии разрешить полуширину линий с 5-10 пикселей принимая во внимание типичную пиксельную ширину детектора линейного массива . В ELIAS,360 мм в ширину эшелле решетка в дифракционном расположении может быть использована в двойном или одинарном проходе. Это дает возможность, с помощью контролируемого программным обеспечением мотора, работать либо с очень высокой разрешающей способностью к характеристике профиля или с пониженной разрешающей способностью, но в более широком диапазоне наблюдения и высокой чувствительностью. По 2,5 м от оси параболоида и прилагаемых анаморфической увеличивающей оптики с тангенциальным масштабом изображения 4:01 , фокусное расстояние камера достигается 10 м . Система чрезвычайно термически и механически стабильным . Полный автомобилизации позволяеточень простое управление , а также автоматической фокусировки и позиционирование спектра на детекторе . По исключительно применяя отражения оптику с УФ слоев широкополосных , хроматические аберрации избежать и нет никаких ограничений в выборе длины волн измерений. Муфта в спектрометр осуществляется через волоконно связи SMA или опционально через чистых передачи отражение оптики.

Различные конфигурации спектрометров ELIAS

Стандартная версия спектрометра ELIAS I. Оптическая основа всех ELIAS спектрометров идентичена стандартной версии. Управляющее и обрабатывающее результаты программное обеспечение Sophi контролирует все спектрометрические и детекторные функции. Режим сканирования позволяет последовательное измерение большего диапазона длин волн - больше, чем свободный спектральный диапазон одновременно. Дополнительное ПО LabView позволяет осуществлять дистанционное управление ELIAS и интеграцию в сложных тестовых стендах.

  ELIAS II имеет гораздо более высокую спектральную разрешающую способность. Система детекторов с высоким разрешением и включение быстрого затвора позволяют проводить улучшенные измерения с отличным временным разрешением. Лучшее охлаждение системы детектора снижает фоновый шум детектора и, следовательно, значительно улучшает отношение сигнал-шум .

  ELIAS III является усовершенствованнием ELIAS II. Комплексный ретрорефлектор позволяет использовать эшелле решетку четыре раза. Это удваивает спектральное разрешение ELIAS II.

  ELIAS -LD не разрешает полуширину линий с 5 до 10 пикселей , но свободный спектральный диапазон может быть утроен без существенного уменьшения спектральной разрешающей способности.

  Для измерения F2 лазеров ( 157 нм) была разработана вакуумная версия, ELIAS - VUV.

  Для мобильного использования спектрометра была разработана версия ELIAS-Portable, затухание которых даже позволяет использование при «грубых» условиях без ущерба для оптической схемы спектрометра.

Спецификация

МОДЕЛИ

Примеры спектров

Применение

• Эксимер лазерная литография
• Измерение спектральной временной стабильности диодных лазеров, твердотельных лазеров и линий излучения ламп
• Точное определение абсолютной длины волны эмиссионных линий
• LIBS - лазерно-индуцированная пробойная спектроскопия