Описание
Размер стекла сцены:
668мм×698мм
Ход XY:
X: 550 мм Y: 650 мм
Линейная точность:
(2,8+л/200)мкм
Точность вектора:
(3,5+л/200)мкм
Z Точность:
≤5 мкм (стандартная проверка)
Описание
Размер стекла сцены:
668мм×698мм
Ход XY:
X: 550 мм Y: 650 мм
Линейная точность:
(2,8+л/200)мкм
Точность вектора:
(3,5+л/200)мкм
Z Точность:
≤5 мкм (стандартная проверка)