3D профилометр OV-SPI 500, обеспечивает бесконтактный и неразрушающий благодаря измерения использованию метода измерения интерферометрии и сканированию белого света. 3D профилометр интерферометр OV-SPI500Благодаря установке ПЗС-камеры, возможно проведение измерений и получение результатов в режиме реального времени, результаты отображаются с 3D отображение данных через перпендикулярное разрешение блока нано модуля. Возможность одновременного измерения толщины, показателя преломления и критических размеров, является отличительной особенностью OV-SPI 500, что расширяет его возможности, обеспечивая широкий спектр применения
Лазерный прифилометр SIS-1200 PLUS был разработана для исследования таких объектов и материалов как LCD, MEMS, тонких полупроводниковых пластин-носителей, поверхностей высокоточной обработки, оптоволоконных материалов и многих других. Прибор использует усовершенствованный метод фазовой сканирующей интерферометрии и гарантирует высокую точность исследований, высокоточный анализ шероховатости поверхностей, и характеризацию параметров поверхности.