Рентгеновские лучи были обнаружены немецким физиком Рентгеном в 1895 году. В то время рентгеновские лучи использовались в качестве радиографии благодаря своей простой
проникающей способности для идентификации внутренней части объекта. Открытие Брэггом в начале 20 века того факта, что рентгеновские лучи могут дифрагировать на кристалле. Он показал условие, необходимое для дифракции в своем законе Брэгга (2dSinθ = nλ), и, применив эту дифракцию рентгеновских лучей, ему удалось идентифицировать кристаллическую структуру различных веществ.

Когда рентгеновское излучение первичного возбуждения, испускаемое рентгеновской трубкой, сталкивается с образцом, оно будет рассеиваться либо посредством рентгеновского излучения, поглощенного атомом, либо проникшего через вещество. Фотоэлектрический эффект относится к процессу, когда рентгеновское излучение передает всю энергию в наиболее глубокую часть и поглощается атомом. В этом процессе, если первичный рентгеновский луч имеет достаточно энергии, электрон будет торчать изнутри, создавая пространство. Это пустое пространство указывает на нестабильность атома. Atom всегда пытается вернуться в стабильное состояние; таким образом, внешний электрон будет переходить на внутреннюю сторону, и в этом процессе испускается определенная энергия рентгеновского излучения. Каждый атом имеет ряд уровней энергии для излучения определенного рентгеновского излучения. Это рентгеновское излучение называется «рентгеновской флуоресценцией (XRF)», и атомный состав в образце с использованием этого свойства может быть измерен с помощью неразрушающего контроля.

Это рентгеновское излучение называется «рентгеновской флуоресценцией (XRF)», и атомный состав в образце с использованием этого свойства может быть измерен с помощью неразрушающего контроля. Общий рентгеновский спектр образца, исследованного в излучении, показывает пик, имеющий несколько различных интенсивностей.

 

 

Свойства рентгеновского излучения варьируются по названию, указывающему исходные углы, K, L, M и N. Также другие названия, альфа (α), бета (β), гамма (γ), используются для обозначения x- луч в электроне передается с внешней стороны. В каждой сфере, в углах, есть несколько слоев подоболочки с электроном, имеющим более высокую или более низкую энергию; поэтому названия, указывающие на перенос электрона от одной оболочки к внутреннему углу, подразделяются на α1, α2, β1, β2 и т. д.

 

Аналитический инструмент XRF получает энергетический спектр, разрешая напряжение и ток от HVPS к рентгеновской трубке для исследования рентгеновских лучей в образце и подсчета энергии флуоресценции, прореагировавшей в образце, по каждой энергетической полосе. Интенсивность элементарной линии в полученном спектре связана с концентрацией элемента и толщиной образца. Увеличение концентрации элемента вызывает пропорциональное увеличение флуоресцентного излучения этого элемента; тогда как увеличение толщины образца пропорционально снижает эту интенсивность. Каждый элемент имеет индивидуальные характеристики излучающей линии; следовательно, прореагировавший элемент можно идентифицировать по полученной спектральной линии. Также Толщина покрытия может быть проанализирована количественно, качественно и с использованием экспериментальной или теоретической и физической модели.